氣體混配器是工業(yè)、科研及醫(yī)療領(lǐng)域中用于將兩種或多種高純氣體按設(shè)定比例精確混合的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、環(huán)境模擬、呼吸氣體配制、燃燒試驗(yàn)及標(biāo)準(zhǔn)氣體標(biāo)定等場(chǎng)景。其核心目標(biāo)是在寬流量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定、可重復(fù)、無(wú)交叉污染的氣體配比。
氣體混配器性能高度依賴各功能模塊的精密協(xié)同，深入理解其組成與特點(diǎn)，是保障混合氣體品質(zhì)與工藝安全的基礎(chǔ)。
一、高精度質(zhì)量流量控制器（MFC）
每路氣體配備獨(dú)立MFC，基于熱式或壓差原理實(shí)時(shí)測(cè)量并閉環(huán)控制流量；
量程覆蓋從10sccm至數(shù)十slm，重復(fù)性≤±0.2%，響應(yīng)時(shí)間＜1秒；
支持?jǐn)?shù)字通信（如RS485、Modbus），可遠(yuǎn)程設(shè)定流量參數(shù)。
二、混合腔室
采用湍流或靜態(tài)混合結(jié)構(gòu)（如多孔板、螺旋導(dǎo)流片），確保氣體在短距離內(nèi)充分?jǐn)U散混合；
材質(zhì)為316L不銹鋼或電拋光處理（Ra≤0.4μm），內(nèi)壁光滑，防止吸附或殘留；
容積經(jīng)流體力學(xué)優(yōu)化，兼顧混合效率與響應(yīng)速度。
三、控制系統(tǒng)與人機(jī)界面
嵌入式PLC或工控機(jī)運(yùn)行混合算法，支持比例模式（如5%O?+95%N?）或總流量+比例雙控；
彩色觸摸屏實(shí)時(shí)顯示各路流量、混合比例、壓力及報(bào)警狀態(tài)；
可存儲(chǔ)多組配方，一鍵調(diào)用，適配不同工藝需求。
四、壓力與溫度補(bǔ)償單元
內(nèi)置PT100溫度傳感器與壓力變送器，對(duì)MFC輸出進(jìn)行溫壓補(bǔ)償，消除環(huán)境波動(dòng)影響；
確保在入口壓力波動(dòng)（如0.2–0.6MPa）下仍維持高精度配比。
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